Durchflussbestimmung mit Staubabscheider

Omron erweitert mit den MEMS-Massendurchfluss- und -Strömungs-Sensoren der Baureihe D6F sein Angebot für die Ausrüstung medizinischer Geräte.

Die Sensoren können Durchflussraten von 0,1 l/min bis 50 l/min bei hoher Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bestimmen und erzeugen dabei nur einen minimalen Druckabfall.

Grundbaustein der Sensoren ist ein Chip mit einer Oberfläche von 1,5 mm2 und einer Dicke von 0,4 mm. Auf dem Chip sind auf beiden Seiten zwei Thermosäulen aufgebracht, mit denen die Abweichung von der Wärmesymmetrie bestimmt wird, die durch einen vorbeiströmenden Gasdurchfluss verursacht wird. Vor den Sensor wird bei den D6F-Sensoren ein Schutzfilter montiert, der das Verunreinigen des Chips durch Partikel weitgehend verhindert.

Das »Dust Segregation System« (DSS) ist als dreidimensionaler Strömungspfad aufgebaut. In diesem werden Partikel über die Zentrifugalkräfte abgeschieden und über den Abscheidungspfad herausgeführt. Simulationsergebnissen zufolge sondert das DSS bis zu 99,5 % der trockenen Partikel aus der Luft heraus.