Schwerpunkte

MEMS-Mikrolautsprecher

14. April 2020,  5 Bilder

Prinzip des elektrostatischen MEMS-Schallwandler.
© Fraunhofer IPMS
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Die elektrostatischen Biegebalken werden von der Audiosignalspannung im Si-Chip (MEMS) paarweise seitlich gegenläufig bewegt. Sie drücken Luft aus dem Chip-Innern nach unten aus während sie auf der Rückseite nachströmt.