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<p>Das Besondere an dem MEMSFirst- Oszillator von SiTime ist weniger die Siliziumstruktur, sondern vielmehr die mit „Epi Seal“ umschriebene Erfindung.

Das Besondere an dem MEMSFirst- Oszillator von SiTime ist weniger die Siliziumstruktur, sondern vielmehr die mit „Epi Seal“ umschriebene Erfindung. Diese gewährleistet die Erhaltung des Vakuums, eliminiert Verunreinigungen des Resonanzhohlraums und gestaltet die Temperaturkompensation weniger komplex.

Die erste Generation von MEMS First-Oszillatoren wird in 2 × 2,5 mm2, 2,5 × 3,2 mm2 und 3,2 × 5 mm2 großen sowie 0,85 mm hohen QFNGehäusen angeboten, um die Anschlusskompatibilität mit existierenden Quarzoszillatoren zu gewährleisten. Bei der Einführung werden zwei Produktfamilien zur Verfügung stehen: die Oszillatorfamilie SiT11xx und die programmierbare Oszillatorfamilie SiT8002. Die beiden Familien sind identisch bis auf die Programmierbits. Mit deren Hilfe kann die Ausgangsfrequenz des SiT8002 fest in 1 μs programmiert werden. Die neuen Oszillatoren zeichnen sich durch einen Frequenzbereich von 1 bis 125 MHz und eine Frequenzabweichung von ±50 ppm über Temperatur und Alterung aus.


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