Dreiachsiger Beschleunigungs- und Neigungssensor

In einem 4,6 x 4,6 x 1,3 mm großen Keramikgehäuse steckt der als Zwei-Chip-Lösung konzipierte mikromechanische piezoresistive Beschleunigungssensor GS3 von Panasonic Electric Works.

Der dreiachsige Sensor besteht aus einem MEMS-Halbleiter-Sensorelement und einem speziell dafür entwickelten ASIC, das das Messsignal des Sensors (Messbereich +-2G / +-3G) verarbeitet und in ein Spannungsausgangssignal (1,5 +-1V) umwandelt. Das Sensorelement besteht aus einem starren Si-Rahmen, den beweglichen seismischen Massen und freitragenden Brücken mit integrierten Piezowiderständen.

Im Gegensatz zu einem einachsigen Beschleunigungssensor ermöglicht es der GS3, in jeder der drei Raumachsen Neigungen in X-, Y- und Z-Richtung zu messen und dadurch Lager- und Neigungsveränderungen dreidimensional zu ermitteln.