Objektvorbereitung überflüssig

Die neuen 2D-/3D-Laserscan-Farbmikroskope kombinieren laut Hersteller Keyence den Komfort eines herkömmlichen optischen Mikroskops mit den Vorzügen eines Rasterelektronenmikroskops und den Analysefunktionen eines Oberflächen-/ Rauheitsmessgeräts.

Das Modell VK-9700 bietet eine maximale Auflösung von 0,001 µm und Vergrößerungen bis 18 000-mal. Das Modell VK-8700 weist eine Messauflösung von 0,01 µm und Vergrößerungen bis 12 000-mal auf. Damit lassen sich Metallgefüge und Werkstofffehler wie Poren, Gasblasen und Risse analysieren, Feinstpartikelmessungen vornehmen oder Halbleiterstrukturen visualisieren. Dazu wird das Objekt auf den Objekttisch gelegt, der Startknopf gedrückt und im Nu ist laut Hersteller das gewünschte Ergebnis vorhanden. Die Objekte müssen nicht erst bedampft, zerschnitten oder anderweitig vorbereitet werden. Die räumliche Darstellung mit großer Tiefenschärfe ist vergleichbar mit denen mittels REMs, da ein kurzwelliger, violetter Laserstrahl eingesetzt wird. Die hochauflösenden Bilder in Echtfarben sind mit denen eines herkömmlichen optischen Mikroskops vergleichbar.

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