Der »SFM4100« von Sensirion eignet sich für die Durchflussmessung von Luft und anderer nicht aggressiver Gase. Der Gasdurchfluss wird mit dem thermodynamischen Messprinzip ermittelt, der Sensor funktioniert dabei zuverlässig bis zu Drücken von 7 bar. Das Sensor-Signal wird mit der auf dem Chip integrierten Elektronik vollständig kalibriert und temperaturkompensiert. Die Kommunikation mit einem externen Mikrocontroller übernimmt die implementierte I²C-Schnittstelle.

Der Messbereich des Sensors reicht bis 20 slm (Standard-Liter pro Minute), er bietet nach Herstellerangaben gute Langzeitstabilität und Driftfreiheit. Mit den verfügbaren Selbsttests ermöglichen eine Überprüfung der gesamte Signalkette, von der analogen Signalerzeugung, über die Verstärkung bis zu A/D-Wandlung, Linearisierung und Temperatur-Kompensation im laufenden Betrieb. Zudem ist eine »Multi-Gas«-Option erhältlich, mit dem sich der Durchfluss mehrerer Gase gleichzeitig bestimmen lässt.

Der Sensor eignet sich besonders für die Mischung von Trägergasen in der Anästhesie, er wurde für die Integration in medizinische und analytische Geräte sowie in Feldgeräte der Prozessautomatisierung konzipiert.