Sub-Nanometer-Auflösung

Mit einer Auflösung unterhalb des Nanometer-Bereichs ermitteln die Positionssensoren der Serie »PISeca« von Physik Instrumente Größen wie Abstand, Position und Kraft.

Kapazitive Sensoren in Einelektroden-Bauform messen dynamisch und berührungslos gegen alle elektrisch leitenden Oberflächen. Anders wie bei Zweiplatten-Sensoren sind auch große laterale Bewegungen der zu messenden Oberflächen möglich. Die drei »PISeca-D-510«-Sensorköpfe von PI Physik Instrumente (Halle B5, Stand 331) sind erhältlich für Messbereiche von 20 bis 500 µm bei einem Abstand zwischen Sensorkopf und Messoberfläche (Messabstand) zwischen 10 und 750 µm.

In Verbindung mit der rauscharmen Auswerteelektronik »PISeca E-852« ist eine Auflösung bis 0,2 nm möglich. Die integrierte Linearisierungsfunktion ermöglicht eine Linearität bis 20 nm. Wegen ihrer hohen dynamischen Bandbreite von 6,6 kHz eignen sich die Sensoren auch für dynamische Schwingungsmessungen von Maschinen- und Anlagenteilen. Standardisierte Messköpfe mit Lemo-Steckverbinder und eine Auswerteelektronik mit LED-Messbereichsanzeige erleichtern die Integration der Sensoren beispielsweise in Positioniersysteme.