Optische Oberflächenmesstechnik

FRT stellt zwei neue Oberflächen-Messgeräte vor: der »MicroSpy Profile« ist für die optische scannende Messung von Rauheit, Kontur und 3D-Topographie ausgelegt, der »MicroSpy FT« für die Messung von Schichtdicke.

MicroSpy-Messgeräte sind kompakte Single-Sensor-Systeme mit einer zusätzlichen CCD-Kamera für die einfache Positionierung der Probe unterhalb des Messkopfes. Dies erfolgt mittels eines motorisierten Verfahrtisches in X,Y-Richtung. Je nach Modell nähert sich der Sensor der Probe in axialer Richtung über eine manuelle Verstelleinheit mit Grob- und Feintrieb oder mit einer motorisierten Z-Achse.

FRT bietet zwei Sensortechnologien für die MicroSpy-Geräte an. Im MicroSpy Topo kommt die flächenhaft messende konfokale Mikroskopie zum Einsatz. In den beiden neuen Modellen wird ein chromatischer Punktsensor verbaut. Die Punktsensoren gibt es mit unterschiedlichen Messbereichen, so dass ein breites Anwendungsspektrum auf verschiedensten Oberflächen abgedeckt wird.