Micro System Analyzer

Polytecs Micro System Analyzer »MSA-400« verbindet dynamische und geometrische Messtechnik zur Bestimmung wichtiger Kenngrößen von MEMS wie Höhenprofile, Form, kritische Dimensionen, Rauheit sowie Resonanzfrequenzen, Schwingformen,

Polytecs Micro System Analyzer »MSA-400« verbindet dynamische und geometrische Messtechnik zur Bestimmung wichtiger Kenngrößen von MEMS wie Höhenprofile, Form, kritische Dimensionen, Rauheit sowie Resonanzfrequenzen, Schwingformen, Dämpfung, Einschwingverhalten und Abklingzeiten. Zusätzlich lassen sich nun auch 3D-Topographie-Messungen mit dem Verfahren der Weißlicht-Interferometrie zum Erfassen der Struktur von rauen und auch spiegelnden Oberflächen durchführen.


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