MEMS-Durchflusssensoren

Die Durchflusssensoren der Serie FM200 SUNX von Panasonic Electric Works sind u.a. für die Volumenmessung oder Verbrauchserfassung im Energiemanagement sowie für die Ansaugkontrolle sehr kleiner Bauteile ausgelegt.

Die auf dem kaloriemetrischen Messprinzip basierenden Durchflusssensoren bestehen aus einem MEMS-Sensorchip und der integrierten Signalverarbeitungselektronik. Sie zeichnen sich u.a. durch einen Linearitätsfehler von +/-3 Prozent F.S., eine Ansprechzeit von 50 ms, eine Wiederholgenauigkeit von +/- 1 Prozent F.S. sowie durch die Miniaturbaugröße aus.

Ein zweifarbiges großes LCD-Display erleichtert sowohl das Einstellen der Sensorparameter als auch das Ablesen der Ausgangszustände, des Volumenstroms oder des Gesamtvolumens. Das Messprinzip ermöglicht eine bidirektionale Durchflussmessung inkl. Anzeige der Flussrichtung direkt auf dem Display.

Eine weitere Besonderheit sind die vier Varianten der Signalausgangsmodi (Fensterkomparator, Hysterese, lineare und Puls-Integration), mit denen sich verschiedene Steuerungsaufgaben (z. B. Signal bei Überschreiten einer Volumengrenze bzw. wiederkehrenden Volumenmengen) einfach realisieren lassen.

Die acht Varianten der Serie FM200 bieten einen Messbereich von 0,5 bis 1000 l/min sowie zwei voneinander unabhängige kurzschlussfeste NPN- bzw. PNP-Transistorausgänge und einen Analogausgang. Der zweite Schaltausgang kann auch als externer Eingang (zum Reset von den integrierten Werten) verwendet werden (umschaltbar).