ATE-Plattform für Flash und DRAM

Mit der V6000-Testerfamilie von Verigy lassen sich Flash- und DRAM-Speicher auf ein und derselben ATE-Plattform testen. Die V6000-Testerfamilie deckt dabei den gesamten Testprozess von Halbleiterspeichern ab.

Die Testerfamilie V6000 umfasst insgesamt drei Modelle: V6000e, V6000 WS und V6000 FT. Das Modell V6000e eignet sich zur Entwicklung von Testprogrammen und zur Chipcharakterisierung. Mit der Serie V6000 lassen sich wahlweise Flash-Speicher oder DRAMs testen, indem man das Testprogramm und die Probe-Card auswechselt. Dadurch ist der Anwender in der Lage, ohne großen Aufwand zwischen verschiedenen Speichertypen zu wechseln, um die jeweiligen Marktanforderungen zu erfüllen.

Die Systemleistung sowie die Pin-Anzahl lassen sich auf einfache Weise mit zusätzlichen Test-Site-Modulen oder Active-Matrix-Modulen erweitern, ohne dass dazu neue Tester angeschafft werden müssen. Diese Skalierbarkeit erleichtert die Anpassung an neue Technologien und verlängert so die Testerlebensdauer.

Das V6000-FT-System ist für abschließende Tests von Flash-, DRAM- oder Multi-Chip-Packages (MCPs) auf einer Pattform ausgelegt. Dieses Modell erlaubt Single-Insertion-Testing von MCPs, die sowohl Flash-Speicher wie auch DRAMs enthalten. Das Modell V6000 WS nutzt preiswerte, anschlusslose Probe-Karten, nimmt Probe-Karten mit unterschiedlichen Größen auf (450 mm oder 560 mm) und lässt sich mit allen gängigen Probern koppeln.

Alle Systeme der Testerfamilie V6000 arbeiten mit der zur Patentierung eingereichten Active-Matrix-Technologie und Tester-Per-Site-Architektur der sechsten Generation von Verigy. Die Active-Matrix-Technologie bietet Parallelität mit über 18.000 I/O-Pins und über 4.000 programmierbaren Stromversorgungen sowie eine nach eigenen Angaben industrieweit beste Signalintegrität. Die Testerfamilie V6000 bietet gegenüber herkömmlichen Speichertester-Architekturen laut Verigy eine vier Mal höhere Parallelität bei halben Kosten pro Pin. Ferner bieten die Tester der Serie V6000 skalierbare Test-Datenraten von 140, 280, 560 und bis zu 880 MBit/s.

Alle Modelle der Serie V6000 arbeiten mit dem gleichen Betriebssystem, enthalten die gleiche Hardware und verfügen über die gleichen Schnittstellen. So laufen Testprogramme für Engineering und
Charakterisierung auf derselben Plattform wie für Wafer-Sort und Abschlusstest, was Entwicklung und Transfer zur Produktion erleichtert. Mit kleinen Modifikationen lassen sich Testprogramme der Testerfamilie V5000 von Verigy auf der V6000-Plattform nutzen. Alle Modelle der Testerfamilie V6000 sind wassergekühlt.