MEMS-basierter Schwingungssensor

Auf Analog Devices’ »iMEMS-Motion-Signal-Processing«-Technologie basiert der Schwingungssensor ADXL001.

Der Einchip-Präzisionssensor ist mit drei Dynamikbereichen vom ±70, ±250 und ±500 g erhältlich. Alle drei g-Bereiche bieten eine große Bandbreite (22 kHz Resonanzfrequenz) sowie einen Frequenzverlauf bis hinunter auf DC.

Zudem weisen die Sensoren eine Nichtlinearität von nur 0,2 Prozent im Full-Scale-Bereich auf. Sie sind weitgehend immun gegenüber HF- und elektromagnetischen Interferenzen und benötigen eine Spannungsversorgung von 3,3 bis 5 V. Dank der geringen Abmessungen ihres Keramikgehäuses von 5 x 5 mm eignen sich die Sensoren auch für beengten Bauraum.