Tektronix / Keithley Vollautomatisierter Leistungshalbleitertest auf Wafer-Ebene

Voll automatisierte, schnelle Wafer-Parameter-Testlösung für die neuesten Leistungshalbleiter einschließlich SiC und GaN bis zu 3 kV
Vollautomatisierte, schnelle Wafer-Parameter-Testlösung für die neuesten Leistungshalbleiter einschließlich SiC und GaN bis zu 3 kV: Das Keithley S540 von Tektronix.

Das Power-Semiconductor-Parameter-Testsystem Keithley S540 von Tektronix ist für die vollautomatische Prüfung von Leistungshalbleitern und Strukturen auf Wafer-Ebene mit 48 Pins und bis zu 3 kV ausgelegt.

Das voll integrierte System ist für Halbleitermaterialien wie Siliziumkarbid (SiC) und Gallium-Nitrid (GaN) optimiert und in der Lage, alle Hochspannungs-, Niederspannungs- und Kapazitätstests in einem einzigen Probe-Touchdown durchzuführen.

»Viele Fabs nutzen individuell angefertigte, hybride Testsysteme für den Test von Leistungshalbleitern, die bei der Umstellung von Niederspannungs- auf Hochspannungstests eine manuelle Änderung der Test-Setups benötigen«, sagt Mike Flaherty, General Manager der Keithley Product Line bei Tektronix. »Das erfordert jedoch zusätzliche Prozessschritte und bremst die Produktion aus. Im Gegensatz dazu ist das S540 eine komplette, voll integrierte und gut angepasste Lösung für Produktionsumgebungen, in denen viele Bauteile schnell geprüft werden müssen.«

Um eine entsprechende Leistungsfähigkeit für die Produktion zu erreichen, ist das S540 in der Lage, parametrische Messungen auf bis zu 48 Pins durchzuführen, ohne dass Kabel oder die Probe-Card-Infrastruktur geändert werden müssen. Es kann außerdem Transistor-Kapazitätsmessungen wie Ciss, Coss und Crss bis zu 3 kV ausführen – auch hier ohne eine manuelle Umkonfiguration von Testpins. Um den Testdurchsatz weiter zu erhöhen, ermöglicht das S540 Sub-pA-Messungen und führt Hochspannungsleckstromtests voll automatisiert in weniger als einer Sekunde durch.

Als kommerzielles Standardprodukt bietet das S540 vollständig rückverfolgbare Systemspezifikationen, erfüllt die einschlägigen Sicherheitsanforderungen, verfügt über Diagnosefunktionen und einen weltweiten Service und Support, was häufig bei selbstentwickelten oder kundenspezifischen Systemen nicht der Fall ist. Zudem erlaubt es die Integration unterschiedlicher Halbleiter-Testsysteme, einschließlich Nieder- und Hochspannungs-Schaltmatrizen, Verkabelung, Probecard-Adapter, Prober-Treibern und Testsoftware.

Das Keithley S540 ist ab sofort bestellbar und wird ab März 2017 ausgeliefert.