Das Vakuum-Transportband, das auch für einen Überkopf-Transport eingesetzt wird, befördert gleichzeitig mehrere Wafer. Dabei hat das Transportband eine Geschwindigkeit von maximal 5m/Sekunde und kann somit 4.000 Wafer pro Stunde bewegen. Im Vergleich zu anderen Handlinglösungen befördert das Vakuum-Transportband von Montech die empfindlichen Wafer schonend und hat nur einen geringen Platzbedarf.

Das Vakuum-Transportband kann mehrere Spuren auf eine Spur zusammenführen und umgekehrt von einer Spur auf mehrere Spuren verteilen. Somit ist ein chaotischer Betrieb möglich.

„Das Vakuum-Transportband ist die Alternative zu den herkömmlichen FlexPickern“, berichtet Gianluca Aloisi, Manager Sales bei Montech. „Durch den Einsatz des Vakuum-Transportbandes wird der Bruch von Wafern minimiert. Auch ist die Investition in ein Vakuumband wesentlich geringer als die Investition in ein Handlingsystem.“

Laut Aloisi entfalle darüber hinaus beim Montech Vakuum-Transportband der unproduktive Rücktransport, den es bei FlexPickern gibt.