Weltweit erste MEMS-Produktion auf 200-mm-Wafern

Für 40 Mio. Dollar hat STMicroelectronics eine bestehende 6-Zoll-Linie in die weltweit erste 200-mm-Fertigungslinie für MEMS-Wafer umgerüstet. Sie wurde jetzt im Werk Agrate bei Mailand in Betrieb genommen.

Damit ist ST das weltweit der erste MEMS-Hersteller, der Bauelemente mit 8-Zoll-Wafern herstellt. Von den damit erzielten Kostensenkungen abgesehen, wird damit sowohl der Ausbau gegenwärtiger Anwendungen als auch die Erschließung neuer MEMS-Märkte vorangetrieben.

»Mit dieser umfangreichen Investition in eine 200-mm-Produktionslinie bekräftigt STMicroelectronics seine Entschlossenheit zur Aufrechterhaltung einer wettbewerbsfähigen Fertigungsbasis in Italien«, erklärt Pietro Palella, General Manager von STMicrolectronics Italien. »Entsprechend dem weltweiten Trend in der Halbleiterfertigung sind wir zwar einerseits dabei, etablierte Produktions-Technologien in den Fernen Osten zu verlagern«, erläutert Palella, »andererseits aber schöpfen wir nach wie vor die intellektuellen Talente Europas aus«.

Benedetto Vigna, General Manager der MEMS Business Unit von ST verweist anlässlich der Einweihung der Fertigungslinie darauf, dass der MEMS-Markt mit einem prognostizierten Wachstum von etwa 100 Prozent über die fünf Jahre von 2005 bis 2010 zu den interessantesten Segmenten der Halbleiterindustrie zählt. »Die in Agrate in Betrieb genommene, neue und hochmoderne Produktionslinie wird uns helfen, unsere führende Position auf diesem Sektor weiter auszubauen«, versichert er den auch zuversichtlich.