Magma: Yield-Analyse, aber richtig

Der EDA-Spezialist Magma hat sein Knights-Smart-Sampling-Werkzeug um den Knights-YieldManager erweitert. Damit sind Ingenieure in der Lage, das richtige Analyse-Werkzeug auszuwählen, um potenzielle »Yield-Killing«-Fehler in der Chip-Produktion aufzuspüren.

»Durch eine falsche Klassifizierung des Fehler-Typs bleibt eine Vielzahl so genannter Killer-Defekte unentdeckt«, sagt Ankush Oberai, Vice President der Fab Analysis Business Unit von Magma. »Wird ein erkannter Fehler durch das Analyse-Werkzeug falsch klassifiziert, so werden folglich auch die Fehleranalyse-Daten falsch ausgegeben.«

Die Fehler-Datenbasis für die Sampling-Parameter berücksichtigt neben der Fehlergröße auch die Lage, den Layer, den Schweregrad und den Typ des Fehlers. Das Tool unterstützt eine Fehler-Gruppierung, mit der eine effizientere und exaktere Klassifizierung möglich ist. Zudem kann der Anwender spezifische Fehlergruppen anhand eines Fehlermerkmals oder einer Kombination mehrerer Fehlermerkmale selbst festlegen. Sind die Sampling-Parameter festgelegt, werden sie in beide Analyse-Werkzeuge und in den Datenbestand des YieldManager für spätere Fehleranalysen übernommen.