Kleine Gyroskope für Consumer-Geräte

Die SAES Getters Group und STMicroelectronics wollen künftig zusammen arbeiten, um MEMS-Gyroskope der nächsten Generation zu fertigen.

SAES hat einen Dünnfilm namens PageWafer entwickelt, der bei der MEMS-Montage auf Wafer-Level-Ebene als Getter wirkt und damit die Empfindlichkeit und Stabilität der MEMS-Gyroskope verbessert. Der strukturierte Getter-Film ist wenige Mikrometer dick und wird in bestimmte Aussparungen und Hohlräumen aufgebracht, deren Form und Tiefe der Kunde vorgibt. Die so verarbeiteten Wafer mit der PageWafer-Schicht werden dann als Deckel auf die Wafer von ST aufgebondet. Die Getter-Schicht absorbiert Gase wie H2O, O2, Co, Co2, N2 und H2. Die Möglichkeit, jetzt auch 8-Zoll-Wafer zu verarbeiten, verbessert laut SAES die Druckverteilung und reduziert die Verarbeitungszeit deutlich.
 
Die ersten MEMS-Gyrometer von ST finden in einem kleinen LGA-28-Gehäuse mit den Abmessungen 7 x 7 x 1,5 mm Platz. Damit will STMicroelectronics die Produktpalette seiner zwei- und dreiachsigen Beschleunigungssensoren ergänzen. Mit der kleinen Bauform, hoher Empfindlichkeit und geringer Leistungsaufnahme zielen die Gyroskope auf den Einsatz in Handys, MP3/MP4-Playern, PDAs, Spielen und Navigationsgeräten ab.

Die Stückzahlfertigung will ST in der ersten Hälfte nächsten Jahres hochfahren. Gyroskope, die Winkelgeschwindigkeiten messen, finden bereits in Elektronischen Stabilisierungssystemen für Autos und GPS-Empfänger Einsatz. Künftig werden sie in großer Zahl auch in Consumer-Geräte wandern, beispielsweise um durch Menüs in tragbaren PDAs und Handys navigieren zu können oder in Kameras das Bild zu stabilisieren. Deshalb gehen Analysten davon aus, dass sich der Umsatz in diesem Marktsektor von 400 Mio. Dollar 2006 bis 2012 auf 1,2 Mrd. Dollar verdreifachen wird.
 
ST bemustert laut eigenen Angaben schon die ersten Kunden aus dem Consumer-Markt mit den neuen Gyroskopen und will in schneller Folge die Gyroskop-Familie um weitere Mitglieder ausbauen.