Halbleiterfertigung in Deutschland ist konkurrenzfähig

Der Mainzer Halbleiterhersteller PREMA Semiconductor fertigt und entwickelt Analog- und Mixed-Signal-ICs in Deutschland. Wir fragten Geschäftsführer Dr. Hartmut Grützediek, warum er weiter auf den Halbleiterstandort Deutschland setzt.

Herr Dr. Grützediek, mit 70 Mitarbeitern ist PREMA ein vergleichsweise kleiner Halbleiterhersteller. Umso verwunderlicher ist, dass Sie sich immer noch eine eigene Halbleiterfertigung leisten. Wettbewerber wie ZMDI haben ihre eigene Waferfertigung aufgegeben und an die Foundry X-FAB verkauft. Warum halten Sie an einer eigenen Fertigung fest?

Dr. Hartmut Grützediek: Wir sind der Meinung, dass wir eine eigene Fertigung brauchen, weil wir Schaltkreise zu Kosten verwirklichen wollen, die bei einer Fremdfertigung nicht zu erzielen sind. Sie hingegen sagen, dass andere ihre Fertigung aus Kostengründen aufgeben. Für diesen Widerspruch habe ich eine einfache Erklärung: Es ist eben falsch. Die deutsche Halbleiterindustrie leidet auch daran, dass man versäumt hat, sich Gedanken zu machen über neuartige Wege der Halbleiterfertigung, sowohl prozesstechnisch als auch fertigungstechnisch. In beiden Bereichen sehen wir ein Kosteneinsparpotential, das wir in Deutschland bisher nicht ausgeschöpft haben.

Wir haben uns immer viel eingebildet auf unsere Ingenieurleistung, wir sind stillschweigend davon ausgegangen, im weltweiten Vergleich sowieso die Besseren zu sein. Nun stellen wir fest, dass wir im Vergleich zu Asien in einer Schlüsselindustrie nicht wettbewerbsfähig sind. Doch warum akzeptieren wir das so einfach? Sogar die ganz Großen haben hier mehr oder weniger die Halbleiterfertigung aufgegeben.

Gerhard Stelzer, Chefredakteur der Elektronik (rechts), besuchte
Dr. Hartmut Grützediek am Unternehmenssitz in Mainz.

Das gilt aber nur für die feinsten Strukturen. Bis 90 nm wird ja auch hier gefertigt.

Das schon. Aber ich hätte erwartet, dass diese Firmen auch im Rennen um 20 nm mit dabei sind. Diesen Vorwurf mache ich dem Management dieser Firmen. Man gibt einfach zu leicht im Wettbewerb mit anderen Firmen auf. Wir haben jetzt anderthalb Jahrzehnte an einem Prozess gearbeitet, von dem wir glauben, dass er nicht mehr viel einfacher zu machen ist. Es handelt sich dabei um einen BCD-Prozess, der analoge und digitale Schaltungen mit Hochvolt-Optionen verbindet, mit einer Anwendungsbreite, die wesentliche Teile des Marktes abdeckt. Hier in Deutschland kann man – wenn man sich Mühe gibt – durchaus Schaltungen für Alltagsanwendungen wie die Industrieelektronik oder Haushaltsgeräte realisieren. Ich fordere, dass man nicht aus kurzfristigen Erwägungen heraus Fertigungen nach Asien transferiert.

Mit der Technik, die wir entwickelt haben, sind wir konkurrenzfähig. Wir wollen unsere Halbleiterfertigung nicht nach außen geben, weil wir es selber besser können und sogar billiger als in Asien. Dieses Wissen und auch die Verantwortung gegenüber unseren Kindern wurde aufgrund kurzfristiger Überlegungen hier in Europa geopfert. Es ist unverantwortlich, die Halbleitertechnik hier aufzugeben. Ich sehe es auch als unverantwortlich an, Qimonda aufzugeben, egal was es gekostet hätte. Wenn die großen Halbleiterhersteller hier aufgeben, dann haben auch wir Kleinen Probleme, an die nötigen Halbleitermaterialien zu kommen oder unsere Fertigungsgeräte warten zu lassen.

Die Errichtung einer modernen Halbleiterfertigung verschlingt heute Unsummen. Woher soll das Geld denn kommen?

Es kommt darauf an, wie man an das Problem herangeht. Wir sind sowohl in der Prozesstechnik als auch in der Fertigung neue Wege gegangen. Wir haben hier kürzlich ein großes IBM-Gebäude übernommen, in dem früher Festplatten hergestellt wurden, und bauen es nun in eine Halbleiterfertigung um – und zwar nach dem Konzept, wie wir uns das vorstellen. Nicht für die höchste Auflösung von 40 nm, sondern was wir für unsere Zwecke brauchen, also 0,25 μm oder 0,18 μm, in Verbindung mit Hochvolt- Elementen. Teilweise entwickeln wir auch die Fertigungsgeräte selbst, die wir für unsere Prozesstechnik benötigen.

Wieso? Können Sie es selbst billiger oder gibt es die Geräte so auf dem Markt gar nicht?

Sowohl als auch. Wir haben Fertigungsgeräte, die es so auf dem Markt nicht zu kaufen gibt. Eine Halbleiterfertigung wird am besten so aufgebaut, dass Halbleiterprozess und -fertigung als Einheit gesehen werden. Sie sollten einen Prozess so entwickeln, dass Sie immer in abgeschlossenen Clustern möglichst viele Schritte durchführen. Permanentes Hin- und Herlaufen von einer Anlage zur andern ist teuer. Die vollautomatische Abarbeitung möglichst vieler Schritte in einem Cluster spart enorme Kosten, aber dafür müssen Prozess und Fertigung aufeinander abgestimmt sein.