Neuartiges Plasmawerkzeug

Von der Reinhausen Plasma ist »plasmabrush« verfügbar, ein kalt aktives Plasmawerkzeug, das die Vorteile der Niederdruck-Plasmaverfahren mit denen der kontinuierlichen In-Line-Fertigung unter Umgebungsdruck verbindet.

plasmabrush eröffnet neue Anwendungsmöglichkeiten in der Feinstreinigung, Aktivierung und Vernetzung von Oberflächen. Hierzu zählen dünnwandige, feine und komplexe Konturen. Die Vorzüge des plasmabrush liegen in der niedrigen Behandlungstemperatur, der geringen Gasgeschwindigkeit mit kaum nennenswerter mechanischer Substratbelastung, der Spaltgängigkeit und der Partikelfreiheit der Prozessgase.

Mittels plasmabrush wird die Oberfläche so angeströmt, dass Fremdgasbestandteile aus der aktiven Plasmazone verdrängt werden. So wird auch die Behandlung von Kavitäten, Spalten und Hinterschneidungen möglich. Das System ist reinraumtauglich, verschleißfrei, und bietet hohe Prozesssicherheit. Die Parametrierung erfolgt über eine SPS. Eine von der Plasmaerzeugung unabhängige Plasmaüberwachung kann optional ergänzt werden, je nach Behandlungserfordernissen lassen sich bis zu drei Plasmaerzeuger einbringen und leichzeitig mit einer Ansteuereinheit betreiben.