Graduiertenkolleg »3D-Nanofabrikation« Nanometer-Produktionsverfahren für Präzisionsoptiken

An der TU Illmenau entsteht ein Graduiertenkolleg, an dem neue Verfahren zur Produktion im Nanometerbereich erforscht werden. Entwickelt werden alternative Lithographieverfahren, etwa zur Herstellung von Präzisionsoptiken oder elektronischer Bauelemente bis unter 10 Nanometern.

Die Produktion von immer kleineren elektrischen und optischen Bauelementen im Nanometerbereich stellt die Industrie vor eine Herausforderung.  An der TU Illmenau geht man davon aus, dass die Fertigung von Strukturgrößen unterhalb von 20 nm mit konventioneller Lithographie nur unter hohen Kosten möglich sein wird. Eine vielversprechende, alternative Fertigungstechnik für atomare Strukturgrößen sei die spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation. Strukturen kleiner als 10 nm lassen sich bereits mit dieser Technik fertigen, allerdings kann dabei in einem Arbeitsgang nur eine sehr kleine Fläche prozessiert werden (wenige 100 Quadratmikrometer) bei geringer Arbeitsgeschwindigkeit.

Am neu gegründeten Graduiertenkolleg »Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation in ausgedehnten makroskopischen Arbeitsbereichen (NanoFab)« der TU Illmenau werden nun Verfahren entwickelt, um die Produktionstechnik auf größere Flächen zu erweitern. Außerdem werden die Möglichkeiten zur Herstellung von dreidimensionalen Objekten erforscht, um zum Beispiel Präzisionsoptiken mit bisher nicht möglichen optischen Eigenschaften zu erhalten sowie die Produktion von elektronischen Bauelementen im Nanometerbereich. Dazu werden bestehende Nanofabrikationstechniken mit Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPM) kombiniert.

Das Projekt wird von der Deutschen Forschungsgemeinschaft (DFG) mit 5,7 Mio. Euro für viereinhalb Jahre gefördert. Innerhalb der Projektlaufzeit werden, gemäß DFG-Auflage, 13 Doktoranden am Graduiertenkolleg zur Promotion geführ