First Sensor auf der Compamed Sensoren für die Medizintechnik

First Sensor zeigt auf der Compamed seine Sensoren, die für medizintechnische Anwendungen geeignet sind. Dazu gehören Inertialsensoren und Differenzdrucksensoren, die auf verschiedenen Silizium-Fertigungstechniken basieren.

Die kapazitiven Silizium-Inertialsensoren sind in verschiedenen Version zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration erhältlich. Die Sensoren bestehen aus einem nach patentierten mikromechanischen Verfahren hergestellten Silizium-Sensorelement in Verbindung mit einer ASIC-Signalverarbeitung in einem hermetisch abgeschlossenen SMD-Gehäuse. Die Inertialsensoren können sowohl mechanisch als auch elektrisch auf die jeweilige Kundenanwendung angepasst werden. Zusätzlich stehen Evaluation-Kits für die einfache und schnelle Auswertung und Konfiguration der Sensoren zur Verfügung.

Die einkristallinen Silizium-Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis gewährleisten geringe Querempfindlichkeiten, große Signal-Rausch-Abstände und eine sehr gute Temperaturstabilität. Zusätzlich minimiert die AIM-Technologie (Air gap Insulated Microstructures) parasitäre Kapazitäten durch die Isolation der Komponenten mit Hilfe eines Luftspalts.

Die Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30° erreichen dadurch eine Rauschdichte kleiner 0,0004°/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015° bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Die Beschleunigungssensoren bieten Messbereiche von ±3 g, ±8 g sowie ±15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 40 bis 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz.

Differenzdrucksensoren mit I²C-Bus

Ein weiteres Highlight von First Sensor auf der Compamed ist die neue Version der durchflussbasierten Niedrigstdifferenzdrucksensoren mit 3-V-Spannungsversorgung und linearem I²C-Bus-Ausgangssignal. Die sehr flachen Ma­nifold-Sensoren der LMI-Serie bieten Messbereiche ab 25 Pa (0,25 mbar) Messbereichsendwert und basieren auf der thermischen Messung einer Mikroströmung im Silizium-Sensorchip. Durch ihre hohe Messempfindlichkeit, Genauigkeit, Offset-Stabilität und Langlebigkeit eignen sich die Sensoren zur Durchflussmessung von Luft und Gasen nach dem Differenzdruckverfahren in einer Bypass-Anordnung. Für batteriebetriebene Anwendungen steht ein Energiesparmodus mit minimaler Ruhestromaufnahme zur Verfügung.

Die Mikroströmungs-Technologie von First Sensor reduziert den Gasfluss durch den Sensor um mehrere Größenordnungen im Vergleich zu herkömmlichen durchflussbasierten Drucksensoren. Durch die extreme Miniaturisierung des Strömungskanals erreichen die LMI-Differenzdrucksensoren eine deutlich verbesserte Beständigkeit gegenüber staubbeladener und feuchter Luft und erlauben den Einsatz von langen Verbindungsschläuchen und Filtern, ohne dass die kalibrierte Messgenauigkeit beeinflusst wird.

Halle 8a | Stand L14