Symposium in Erlangen Wissenschaftliche Höhepunkte der Ionenimplantation

Das Fraunhofer IISB (Institute for Integrated Systems and Device Technology) richtete am 9. Dezember 2016 ein wissenschaftliches Symposium zum Thema Ionenimplantation aus.

Die Ionenimplantation ist das Standardverfahren für die Dotierung von Halbleitern. Der Anlass für das Ausrichen des Symprosiums war der 75. Geburtstag des ehemaligen Institutsleiters Prof. Heiner Ryssel.

Nach der Begrüßung durch Institutsleiter Prof. Lothar Frey gratulierte Altpräsident Prof. Karl-Dieter Grüske im Namen der Leitung der Universität Erlangen-Nürnberg. Fraunhofer-Finanzvorstand Prof. Alfred Gossner überbrachte die Glückwünsche des Vorstands der Fraunhofer-Gesellschaft.

Im wissenschaftlichen Programm des Symposiums präsentierten Wegbegleiter aus Industrie und Wissenschaft aktuelle Forschungsthemen, wissenschaftliche Höhepunkte sowie Rückblicke aus dem umfangreichen Gebiet der Ionenimplantation. Die Vorträge wurden mit persönlichen Erinnerungen an die langjährige Zusammenarbeit mit Prof. Ryssel verbunden. In seinem Schlusswort blickte Prof. Ryssel auf 40 Jahre Ionenimplantation zurück und stellte die wissenschaftliche und technische Entwicklung des Verfahrens sowie seinen persönlichen Werdegang auf diesem Gebiet dar.

Auf dem Symposium wurde außerdem angekündigt, dass die „International Conference on Ion Implantation Technology“ (IIT), die vom 16. bis 21. September 2018 in Würzburg abgehalten wird, gemeinsam vom IISB und Infineon organisiert wird. Die wissenschaftliche Leitung obliegt Prof. Lothar Frey (IISB, Chair), Dr. Reinhard Ploss (Infineon, Co-Chair) und Dr. Volker Häublein (IISB, Chair). Prof. Ryssel steht dem lokalen Organisationskomitee vor. Die alle zwei Jahre stattfindende Konferenz ist ein internationales Forum zum fachlichen Austausch unter Experten auf dem Gebiet der Ionenimplantation

 

 

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