Speicher Erstes SDRAM mit Buried-Wordline-Technologie von Winbond

Der deutsche Speicherhersteller Qimonda musste Insolvenz anmelden, bevor er seine Buried-Wordline-Technologie marktfähig machen konnte. Der Chip-Analyst Chipworks hat jetzt den ersten Buried-Wordline-SDRAM-Baustein entdeckt - hergestellt hat ihn der taiwanische Speicherhersteller Winbond.

Vor dem unglücklichem Ende im Januar 2009 hatte Qimonda auf der IEDM-Konferenz im Dezember 2008 noch ein beeindruckendes Papier über die Buried-Wordline-DRAM-Stack-Zellstruktur vorgestellt, welche die wegen der fehlenden Abwärts-Skalierbarkeit (Moore's Law) nicht mehr zukunftsfähige Trench-Technologie ablösen sollte.

Dabei sollte erstmals seit den frühen 70er Jahren, als Gates aus Aluminium zum Einsatz kamen, wieder ein Metal-Gate-Transistor verwendet werden, diesmal aus Wolfram.

Der Vorteil von Buried-Wordline besteht in einem schlankeren und damit billigeren Herstellungsprozess sowie in einer geringeren Leistungsaufnahme, da die Chips kleinere parasitäre Kapazitäten zwischen Bit-Linien und Wort-Linien aufweisen (siehe Bild).

Die von Chipworks untersuchten SDRAM-Bausteine befinden sich in der Volumenproduktion und werden derzeit noch in einem 65-nm-Prozess gefertigt, geplant ist allerdings ein Wechsel auf einen 46-nm-Prozess. DDR-SDRAM („Double Data Rate Synchronous Dynamic Random Access Memory“) wird hauptsächlich für Speichermodule des DIMM- bzw. SO-DIMM-Standards als Arbeitsspeicher in PCs und Laptops verwendet.

Qimonda hatte seinerzeit ein Schrumpfen der Zellgröße von 6F auf 4F für möglich gehalten, was weitere Kosteneinsparungen bedeuten würde.

Außer Winbond hat auch der japanische Speicherhersteller Elpida Buried-Wordline lizensiert. In München-Neuperlach hat der Büroeigener der ehemaligen Qimonda-Büros, die ALLIANZ-Versicherung, schon ein großes Willkommens-Schild für den Nachmieter aufgestellt: "Herzlich willkommen, Elpida". Es ist daher wohl nur noch eine Frage der Zeit, wann auch die ersten Buried-Wordline-Speicher-Chips aus Japan ausgeliefert werden.