Halbleiterfertigung Auch zukünftig: Masken, made in Dresden

Fotomaskenproduktion im Reinraum des Advanced Mask Technology Center (AMTC) in Dresden.
Fotomaskenproduktion im Reinraum des Advanced Mask Technology Center (AMTC) in Dresden.

Globalfoundries und Toppan Photomask werden ihr Joint Venture zur Herstellung von Masken für die Halbleiterproduktion, die Advanced Mask Technology Center GmbH, fortsetzen – und fit für neue Fertigungsverfahren machen.

Globalfoundries Inc. und Toppan Photomasks, Inc. haben beschlossen ihr Joint Venture, die Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC) in Dresden, für mehrere Jahre fortzuführen. Beide Unternehmen sind jeweils zu 50 Prozent Eigentümer des Dresdner Maskenherstellers und haben bereits 2012 den Vertrag verlängert, um die Anlagenkapazität und -leistungsfähigkeit weiter zu erhöhen. Mit der aktuellen Vertragserweiterung sollen Techniken für die Herstellung von Fotomasken für neue Halbleiterfertigungstechniken mit immer kleineren Strukturgrößen entwickelt werden.

Die 2002 in Dresden gestartete Maskenfertigung versorgt die Werke von Globalfoundries in Dresden, Malta und Singapur mit Masken für die Produktion und Entwicklung von Chips. Mit den Masken stützt das Advanced Mask Technology Center die Roadmap von Globalfoundries. Es werden aber auch Kunden von Toppan Photomask weltweit mit Masken aus Dresden beliefert.

Masken aus Dresden - eine Erfolgsgeschichte

»Nach mehr als 15 Jahren gehört dieses Joint Venture zu den erfolgreichsten und  langlebigsten in der Maskenindustrie«, sagt Mike Hadsell, CEO von Toppan Photomask. »Das ist ein Beleg für die Synergien und das Engagement der Partner ebenso wie für die Leistungsfähigkeit der Teams von AMTC und Toppan in Dresden.«

»Das AMTC wurde mit dem Ziel gegründet, für seine Kunden die erste Wahl für Fotomasken zu sein. Dafür bietet unser erfahrenes und engagiertes Team die kostengünstige und termingerechte Herstellung von hochwertigen Masken für mehrere Technologieknoten. Mittlerweile bewegen wir uns jenseits der 14-nm-Grenze«, so Thomas Schmidt, General Manager der Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG.

Das Advanced Mask Technology Center wurde 2002 von AMD, Infineon Technologies und DuPont Photomasks gegründet. 2005 übernahm Toppan Printing Co, Ltd. mit dem Unternehmen Dupont Photomasks, Inc. auch die Anteile am AMTC. In der Folge wurden Globalfoundries und Toppan Photomasks im Jahr 2009 die Gesellschafter.

Seit 2002 wurden mehr als 600 Mio. US-Dollar in die Maskenproduktion in Dresden investiert – allein 2017 über 100 Mio. Euro. Mehr als 250 Ingenieure und Spezialisten sind für das AMTC tätig. Die Produktion des Advanced Mask Technology Centers ist seit der Gründung kontinuierlich gestiegen, mit Wachstumsraten von über 10 Prozent in den letzten Jahren.