Fab-Tour bei Globalfoundries Am Anfang steht der Striptease

Die Reinräume einer Halbleiter-Fab sind für Journalisten normalerweise Sperrgebiet. Trotzdem erhielt Elektronik-Redakteur Frank Riemenschneider die Gelegenheit, einen Blick den Reinraum von Globalfoundries in Dresden zu werfen. Hier sein Bericht.

Normalerweise zählt der Reinraum einer Halbleiterfab zum Allerheiligsten des Unternehmens, in den man nur ungern Fremde hinein lässt.  Zu hoch schätzt man das Risiko für die Produktion ein, davon abgesehen soll die Konkurrenz nicht zu viele Details über die eingesetzten Tools erfahren.

Für fünf Halbleiter-Journalisten (zwei aus den USA, zwei Engländer und mich) öffneten sich aber dann doch für eine Stunde die Türen zu Modul 1 von Globalfoundries’ Fab 1 in Dresden, dort wo x86-Prozessoren für AMD und zukünftig auch Handy-Chips u.a. für Broadcom in 28-nm-Technologie produziert werden. Derzeit werden in Dresden auf rund 28.000 m² monatlich 30.000 Wafer verarbeitet, laut Dr. Udo Nothelfer, General Manager der Fab, bis 2012 ist jedoch eine Verdoppelung auf 60.000 Wafer pro Monat geplant.

Globalfoundries mit Firmensitz im Silicon Valley beschäftigt weltweit rund 10.000 Mitarbeiter. Mit einem Gesamtumsatz von deutlich über 2 Milliarden US-Dollar (1,4 Milliarden Euro) ist das neu formierte Unternehmen im Jahr 2009 die zweitgrößte Halbleiterfoundry der Welt. Nummer Eins auf dem Foundry-Weltmarkt ist die Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. (TSMC) Hsinchu / Taiwan (Umsatz 2009: 286 Milliarden Taiwan-Dollar / ca. 6,2 Milliarden Euro).

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Fab-Tour bei Globalfoundries

Auf Besuch in den Fabs von Globalfoundries in Dresden.

Globalfoundries betreibt derzeit noch fünf 200-mm-Werke und ein 300-mm-Werk in Singapur. Um der zunehmenden Nachfrage eines wachsenden Kundenstamms entsprechen zu können, plant das Unternehmen den Ausbau seiner Kapazitäten, insbesondere von Fab 1 in Dresden, Fab 7 in Singapur sowie seines im Bau befindlichen neuen 300-Millimeter-Werkes in Saratoga County im US-Bundesstaat New York. Dieses Werk wird in Fab 8 umbenannt und soll die Produktion voraussichtlich 2012 aufnehmen.

Insgesamt will Globalfoundries bis 2014 seine weltweiten Kapazitäten im 300-Millimeter-Wafer-Bereich auf voraussichtlich 1,6 Millionen Wafer im Jahr steigern. Dazu kommen 2,2 Millionen 200-Millimeter-Wafer jährlich, um den Kunden das komplette Foundry-Spektrum von Mainstream-Technologien bis zur Hochtechnologiefertigung anbieten zu können. Umgerechnet entspricht dies einer Gesamtkapazität von 5,8 Millionen 200-Millimeter-Wafern.

Zum Kundenstamm gehören über 150 Unternehmen, darunter viele weltweit führende Halbleiterunternehmen, die auf eine eigene Fertigung verzichten oder sie teilweise ausgelagert haben, wie AMD, Qualcomm, STMicroelectronics, Texas Instruments und IBM. Das Unternehmen plant sowohl eine Vertiefung der bestehenden Beziehungen als auch eine offensive Akquise von Neukunden.

Ab in den Reinraum

Wer den Reinraum betreten will, darf von seinen eigenen Kleidungsstücken nur die Unterhose anbehalten – hätten dies einige meiner Kollegen gewusst, hätten sie sich vielleicht etwas weniger beratungsresistent gegenüber den Mode-Tipps ihrer Frauen gezeigt. Alles andere bleibt in einem Spind. Nach dem Anziehen eines T-Shirts und einer grünen Jogginghose kommt der eigentliche Anzug, der außer dem bekannten Overall noch aus Schuhen, einer Haube, Haarnetz, Mundschutz und Handschuhen besteht. Genauer gesagt, aus zwei Handschuhen, die inneren sind aus Stoff, die äußeren aus Latex. Ein Blick in den Spiegel verrät, dass wir jetzt auch ohne Probleme als Chirurgen arbeiten könnten.

Sämtliche Teile des »Bunny Suit« genannten Reinraumanzuges bleiben nach Gebrauch im Umkleidebereich und werden sofort in die Reinigung gegeben, die ebenfalls in der Fab erfolgt. Die Kleidung ist kaum atmungsaktiv und die Luft staubtrocken. Eine Schicht dauert zwölf Stunden, die Fab arbeitet rund um die Uhr. Um dabei auf eine 40-Stunden-Woche zu kommen, heißt es für die Arbeiter vier Tage Arbeit, drei Tage frei, drei Tage Arbeit, vier Tage frei.