2. Gas Bearing Wokshop Luftlager in der Elektronikfertigung

Fertigungsprozesse in der Elektronik
Das Flowerbed, das im Wesentlichen aus einer großen Anzahl hexagonal angeordneter Luftlager besteht, wird benutzt, um dünne Substrate wie Silizium-Wafer ohne mechanischen Kontakt und mit hoher Präzision zu positionieren.

Der Luftlagertechnologie als Basis vieler Fertigungsprozesse in der Elektronik widmet sich ein eintägiger Workshop. Am 27. März stehen die Fortschritte in dieser Technologie in Düsseldorf im Mittelpunkt.

Überall, wo höchste Genauigkeit, schnelle Bewegungen und große Bewegungsbereiche gefordert sind, werden Luftlager eingesetzt – zum Beispiel in Wafer-Steppern, Elektronenstrahlschreibern, Linearführungen und Spindeln von Leiterplattenbohrmaschinen.

Der aktuelle Stand der Luftlagertechnologie wird von Herstellern, Anwendern und Wissenschaftlern im Rahmen des eintägigen Gas Bearing Workshop präsentiert, der auf Englisch abgehalten wird. Neben Fachinformationen wird ausreichend Zeit und Raum zum persönlichen Austausch vorhanden sein.

Dass Luftlager für die Elektronikfertigung eine große Bedeutung haben, zeigt sich an den Vortragsthemen. So wird J. van der Sanden von ASML Research über „Air bearing modeling in slip flow regime“ referieren und B. Engel von PI Physik Instrumente über „Air bearings in semiconductor metrology“.

Neben der europäischen Luftlager-Szene, die sich auf dem ersten Gas Bearing Workshop 2015 bereits präsentiert hat, werden dieses Mal auch wichtige Aktivitäten aus den USA dargestellt, nämlich in den Vorträgen von H.Spaan von IBS und B. Engel von PI Physik Instrumente. Ob durch den umfangreichen Einsatz von Luftlagern in der Produktion und Messtechnik – insbesondere in Messmaschinen – eine Standardisierung von Komponenten, Definitionen oder Messverfahren sinnvoll ist, ist Thema einer Podiumsdiskussion.

Der Workshop soll allen Herstellern und Anwendern der Luftlagertechnologie ein Forum bieten. Er entspringt einer niederländisch-belgisch-deutschen Zusammenarbeit und wird von der GMM und der niederländischen DSPE (Dutch Society for Precision Engineering) ausgerichtet. Als Chairman fungiert Wolfgang Runge von der Beuth-Hochschule für Technik Berlin. Einzelheiten zum Programm sind unter www.gas-bearing-workshop.com zu finden.

 

 

Die GMM 
GMM MitgliederinfoDie GMM ist die bedeutendste unabhängige, wissenschaftliche Organisation auf dem Gebiet der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik im deutschsprachigen Raum.
Als Medienpartner berichtet die Elektronik regelmäßig über die Aktivitäten des Verbands.