MEMS-Sensor mit integrierter Signalkette

Die neuen MEMS-Drucksensoren MLX09087 und MLX90808 von Melexis beinhalten, neben dem eigentlichen Sensor, eine analoge Signalkette sowie einen digitalen Rechenkern zur Kalibrierung und Auswertung des Mess-Signals.

Die Sensoren werden in CMOS-Technologie in Kombination mit der MEMS-Massenbearbeitungstechnik hergestellt. Sie bestehen aus einer Silikonmembran mit Piezowiderständen, welche die von dem Druck auf das Teil ausgeübte Last in ein elektrisches Signal überführt.

Der Messbereich reicht von 100 mbar bis zu mehreren Bar, die Umgebungsbedingungen, wie Luftfeuchtigkeit etc., spielen dabei keine Rolle. Als Einsatzgebiet nennt Melexis deshalb v.a. Fahrzeuganwendungen, wie beispielsweise die Druckmessung  in Ansaugkrümmern von Motoren oder Bremskraftverstärkern. Das Ausgangssignal liefert eine Abweichung von weniger als 1 Prozent.

Die Sensoren sind gegen Überspannungen geschützt und per 3-Pin-Schnittstelle programmierbar.