Murata Analoger MEMS-Beschleunigungssensor mit hoher Messempfindlichkeit

Die analogen MEMS-Beschleunigungssensoren der Baureihe SCA720 sind insbesondere für elektronisch gesteuerte Radaufhängungs-Systeme und Anti-Vibrations-Applikationen an Motoren konzipiert.
Die analogen MEMS-Beschleunigungssensoren der Baureihe SCA720 sind insbesondere für elektronisch gesteuerte Radaufhängungs-Systeme und Anti-Vibrations-Applikationen an Motoren konzipiert.

Murata führt mit der Produktfamilie SCA720 analoge MEMS-Beschleunigungssensoren ein, die speziell für elektronisch gesteuerte Radaufhängungs-Systeme und Anti-Vibrations-Applikationen an Motoren konzipiert sind.

Der Sensor misst 7,0 x 8,6 x 3,3 mm und wird aus einem Silizium-Einkristall hergestellt. Er ist dadurch mechanisch robust und weist bis zu 70.000 g keine Deformationen auf. Die dreidimensionale Struktur des Bausteins nutzt kapazitive Sensortechniken, die ihm eine hohe Messempfindlichkeit und eine ausgezeichnete Offset-Stabilität verleihen. Die interne Dämpfung des MEMS-Sensorelements mithilfe einer Edelgasfüllung wirkt zudem wie ein mechanisches Tiefpassfilter, das Frequenzen über 115 Hz unterdrückt, für eine stabile Ausgangsamplitude sorgt und Rauschen ausfiltert.

Durch den Analogausgang lässt sich der SCA270 in einiger Entfernung von der Steuereinheit platzieren, ohne dass die Sensorausgänge durch Störungen beeinflusst werden.

Die Messung von Bewegungen in Z-Richtung ist mit dem Z-Achsen-Sensorelement von Murata möglich, wenn die Montage flach auf einer parallel zur Fahrzeugachse angeordneten Leiterplatte erfolgt. Der Sensor kompensiert die Erdgravitation mit einem Offset von + 1 g, bei dem die Ausgangsspannung +2,5 V DC beträgt. Der Messbereich beträgt 2,11 g in beiden Richtungen, mit einem Ausgangsspannungs-Bereich von 0 bis + 5 V DC.

Als Hilfestellung für die Produktions- und Testabläufe sind die MEMS-Sensoren auf der Oberseite mit einem 2D-Matrix-Etikett versehen, über das auf alle Prozess- und Prüfdaten zum Bauteil sowie zum Sensorelement und zum ASIC zugegriffen werden kann.