MEMS-Sensor zur Messung von Beschleunigung und Neigung

<p>Der neue einachsige Beschleunigungssensor GS1 von Panasonic Electric Works besteht aus einem mittels MEMS-Technologie hergestellten Halbleitersensorelement und einem speziell dafür entwickelten ASIC.

Der neue einachsige Beschleunigungssensor GS1 von Panasonic Electric Works besteht aus einem mittels MEMS-Technologie hergestellten Halbleitersensorelement und einem speziell dafür entwickelten ASIC. Dieses verarbeitet das kapazitive Messsignal vom Sensorelement und konvertiert es in ein Spannungsausgangssignal.

Der Sensor ist in einem keramischen Gehäuse untergebracht und als SMD-Typ verfügbar (Baugröße: 6,2 mm × 8,5 mm ×1,6 mm).

Dem Aufbau des MEMS-Sensorelementes liegen eine feste und eine bewegliche Elektrode in Form zwei ineinander greifenden Kammstrukturen (bzw. Interdigitalstrukturen) zugrunde. Die mit der DRIE (Deep Reactive Ion Etching) - Technologie freigeätzte Masse im Zentrum der beweglichen Elektroden wird an beiden Seiten über freitragende Si-Federelemente aufgehängt.

Im Falle einer Beschleunigung entlang der Messachsrichtung bewegt sich die Masse wodurch sich die Kapazitätswerte zwischen den festen und den beweglichen Elektroden der Interdigitalstruktur ändern. Diese Kapazitätsänderung wird mit dem integrierten ASIC verarbeitet und in ein messtechnisch leicht erfassbares Ausgangssignal umgesetzt.

Als Ausgangssignal steht eine der Beschleunigung (Messbereich: ± 2 G) proportionale elektrische Spannung (2,5 ± 1 V) zur Verfügung. Bedingt durch die Materialeigenschaft fällt die Temperaturabhängigkeit ± 0,05 V/G) dieses kapazitiven Beschleunigungssensors im Vergleich zu piezoresistiven Beschleunigungssensoren deutlich geringer aus.


Panasonic Electric Works Deutschland GmbH
Tel. (0 80 24) 648 - 0
www.panasonic-electric-works.de