Infineon Technologies Volumenproduktion von MOSFETs auf 300-mm-Dünnwafern angelaufen

Die Wafer in Reihe: Von 150 mm bis 300 mm.
Die Wafer in Reihe: von 150 mm (rechts) bis 300 mm (links).

Infineon hat im österreichischen Villach mit der Volumenproduktion von Leistungshalbleitern auf 300-mm-Dünnwafern begonnen. Die erste Produktfamilie ist »OptiMOS 5« in 40-V-Varianten für Automobilanwendungen. Sie sollen helfen, den Kohlendioxidausstoß zu senken.

Die 300-mm-Dünnwafertechnologie ist laut Infineon die Grundlage zur weiteren Verbesserung der Leistungsfähigkeit zukünftiger MOSFET-Generationen für Automobilanwendungen: Sie senkt die Leistungsverluste und ermöglicht kompakte MOSFET-Designs, die Systemeffizienz und Leistungsdichte erhöhen. Die 300-Millimeter-Wafer werden auf 60 µm (0,06 mm) gedünnt, damit gehören diese Leistungshalbleiter zu den weltweit dünnsten ihrer Art. Ein Blatt Standardschreibpapier ist mit etwa 110 µm (0,11 mm) etwa doppelt so dick. Im Vergleich zum 200-mm-Wafer lassen sich auf einem 300-Millimeter-Wafer rund zweieinhalbmal so viele Chips fertigen.

Infineon beginnt sein Produktportfolio »OptiMOS 5« mit 40-V-Varianten im S308-Gehäuse (TSDSON-8) mit Abmessungen von 3,3 mm x 3,3 mm. Verglichen mit ihrer Vorgängergeneration haben die 40-V-Varianten der OptiMOS-5-Produkte einen um 40 Prozent geringeren Einschaltwiderstand RDS(on) (2,8 mΩ bis 8,4 mΩ) und weniger Leistungsverluste. Darüber hinaus ist ihre »Figure of Merit« (RDS(on) x QG) um 35 Prozent geringer, wodurch sich ihr Schaltverhalten noch weiter verbessert. Damit bieten die 40-V-Produkte eine recht hohe Leistungsdichte und Energieeffizienz für eine Vielzahl von BLDC- und Halbbrücken-Anwendungen im Fahrzeug. Dazu gehören z.B. elektrische Fensterheber, Schiebedach, Türverriegelung, Benzinpumpe sowie Magnetventile und schnell schaltende DC/DC-Wandler.

»Mit Leistungshalbleitern auf 300-Millimeter-Dünnwafern fürs Auto stärkt Infineon seine Technologie- und Marktführerschaft«, glaubt Jochen Hanebeck, President der Automotive Division von Infineon. »Infineon wird für Automobilanwendungen leistungsstarke MOSFETs in hoher Stückzahl und zu wettbewerbsfähigen Preisen liefern. Unsere Automobilkunden profitieren von Liefersicherheit und unserer langfristigen Produktivitäts-Roadmap der 300-Millimeter-Fertigungslinie.«

Bilder: 23

Blick in Infineons 300-mm-Fab

Anlässlich des Jubiläums »20 Jahre Standort Dresden« erlaubte Infineon einem ausgewählten Journalistenkreis einen Einblick in die 200- und 300-mm-Fertigung in Dresden.