Showa Denko 6 Zoll großer SiC-Epitaxie-Wafer für Leistungshalbleiter

Ein Mitarbeiter mit einem 6 Zoll großen SiC-Wafer
Ein Mitarbeiter mit einem 6 Zoll großen SiC-Wafer

Showa Denko hat angekündigt, noch im Oktober dieses Jahres damit zu beginnen, sechs Zoll große Epitaxie-Wafer aus Siliziumkarbid (SiC) für Leistungshalbleiter zu produzieren. Testwafer standen seit Anfang dieses Jahres zur Verfügung.

Mit 150 mm oder 6 Zoll Durchmesser sind die SiC-Epitaxie-Wafer nach Angaben des Herstellers Showa Denko (SDK) derzeit die Größten auf dem Weltmarkt. Ebenfalls ab Oktober möchte das Unternehmen mit dem Verkauf eine neue Klasse von 4 Zoll (100 mm) großen SiC-Wafer mit weniger Fehlern und eine höhere Einheitlichkeit beginnen.

Nach Aussage von SDK ist die Volumenproduktion eingerichtet und das Produkt spezifiziert. Nach dem Aufbau der Produktlinien möchte SDK die Produktqualität verbessern und die Produktionskapazität von derzeit 1500 Einheiten pro Monat (in Bezug auf die 4-Zoll-Wafer) auf 2500 Einheiten pro Monat bis zur Mitte des Jahres 2014 erhöhen.