Carl Zeiss SMT ist größter Subsysteme-Hersteller

Carl Zeiss SMT ist laut VLSI Research im vergangenen Jahr zum größten Hersteller von Subsystemen aufgestiegen, die in Maschinen für die Halbleiter-, Flachbildschirm- und Massenspeicherfertigung wandern.

Besonders der hohe Bedarf an 193-nm-Systemen ließ den Umsatz des Herstellers von Optiken für Lithografiegeräte auf 593 Mio. Dollar wachsen. Damit konnte Carl Zeiss die Firma BOC Edwards vom ersten Platz verdrängen. Auf Platz 3 liegt MKS Instruments. Nach dem Merger mit Helix ist Brooks Automation auf den vierten Platz vorgestoßen, gefolgt von Cymer, Asyst, Leybold Vacuum, Ebara und Horiba.

Insgesamt kamen die Hersteller von Subsystemen 2005 auf einen Umsatz von 5,2 Mrd. Dollar, 8,2 Prozent weniger als 2004. Während Merger und Übernahmen auf die Rangfolge der Top Ten 2005 noch relativ wenig Einfluss hatten, wird sich das Bild 2006 laut VLSI Research deutlich ändern: Die Übernahme von Mykrolis durch Celerity im Bereich der Mass-Flow-Controller sei nur ein Beispiel.