Messsystem mit Auflösung im Nanometer-Bereich

Für Messaufgaben, bei denen eine Auflösung im hundertstel Nanometer-Bereich gefordert wird, bietet Micro-Epsilon mit dem kapazitiven Multi-Channel-System capaNCDT 6500 eine passende Lösung.

Dank der Multi-Channel-Fähigkeit kann das System je nach Anforderung auf bis zu 8 Messkanäle modular aufgerüstet werden. Die Benutzerfreundlichkeit wurde im Vergleich zum Vorgänger verbessert, so zeigt beispielsweise ein Grafikdisplay das Signal an. Die integrierte Ethernet-Schnittstelle ermöglicht es, Messungen per Netzwerk zu steuern und zu überwachen.

Für Einkanal-Lösungen stehen die Controller capaNCDT 6300, 6310 und 6350 zur Verfügung. Diese Controller bieten modellabhängig bis zu 50 kHz Grenzfrequenz, Nanometerauflösung beziehungsweise 11 m Distanz zwischen Sensor und Controller.

Das kapazitive Messsystem von Micro-Epsilon arbeitet mit einem aktiven und hermetisch abgeriegelten RF-Kabel in Verbindung mit einem aktiven Schutzring-Kondensator. Das System verfügt über eine elektrische Schirmdichtigkeit, die eine präzise Messung sicherstellt. Zudem erzeugt das capaNCDT 6500 ein geschütztes, homogenes Messfeld für hohe Stabilität und störungsfreie, genaue Messungen.