Absolutdruck-Sensoren für’s Vakuum

Endress+Hauser bietet den kapazitiv-keramischen Absolutdruck-Sensor UCS-2 nun auch für einen Messbereich von 0 bis 100 mbar an.

Dass Keramikmesszellen trocken und nicht ölgefüllt sind, kommt insbesondere in vakuumtechnischen Anwendungen mit temperaturkompensiertem und linearisiertem Ausgangssignal zum Tragen - hier lässt sich der Sensor einfach in bestehende Applikationen einbauen.

Aggressive Medien können der beständigen Membran aufgrund der hohen chemischen Beständigkeit der Al2O3-Keramik mit 99,9 Prozent Reinheit nichts anhaben. Das Vakuum wird schon während der Herstellung des Sensorelementes generiert, da der Grundkörper mit der hochreinen Keramikmembrane in einem Hochvakuumofen metallisch verbunden wird - das entspricht einem Referenzvakuum von 3 x 10-6 mbar.

Halle 7, Stand 319, www.envec.endress.com